�a(ch��n)Ʒ����
SF6���w����Ŀǰ�l(f��)�F(xi��n)��zui��(w��n)���Ĝ���Ч��(y��ng)���w���ግ��C����10.5um̎���Џ��ҵĹ��V�������ԡ�SF6����׃�������ö�����̼��������խ���V��Ƭ�����`������•���̽�y�·����(w��n)���Ĺ�ز�����������·���_��ʽ��·�Y(ji��)��(g��u)��*���O(sh��)Ӌ�����ͼ��g(sh��)���F(xi��n)�ˌ����y�^(q��)����SF6���w��ȵČ��r���ھ����_��ʽ���`���t�⼤����V�b�y��
SF6����׃�������ڷ����ͱ��^����(n��i)��ͬ�ИI(y��)���P(gu��n)���w�z�y�����Ļ��A(ch��)�ϣ���*���_��ʽ��·���`���мt�⼤�����չ��V���g(sh��)��(y��ng)����SF6���w�z�y��*��������֪�R�a(ch��n)��(qu��n)������(n��i)*�����g(sh��)ˮƽ�_��������SF6����׃�����˷��˂��y(t��ng)��SF6�z�y�x����M�вɘӣ��Ķ�ֻ�܌��F(xi��n)�cʽ�y�������c�������_��ʽ��·������Ҫ�ɘӾ��ܜy���^(q��)����SF6���w�ĝ�ȣ������w������ģ�M��ݔ�롢�_�P(gu��n)��ݔ�롢�f(xi��)�h�D(zhu��n)�Q��ͨ�Žӿ��D(zhu��n)�Q����ݔ���_�P(gu��n)��ݔ�����Ƶȹ�����һ�w�����w�˹��I(y��)���Ƽ��O(ji��n)�yϵ�y(t��ng)�ĬF(xi��n)���ɼ����蹦�ܣ��ܸ���(j��)���N��(y��ng)�È��ϵľ��wҪ���M���`�����õ������Ͳɼ�ϵ�y(t��ng)��
����SF6����׃�����C���\�����_��ʽ��·���`���мt�⼤�����չ��V���g(sh��)����(sh��)��(j��)�ɼ�̎����ͨ�ż��g(sh��)��һ�w���_��ϵ�y(t��ng)ƽ�_���������й��ܾ�����ģ�K���O(sh��)Ӌ�����ڹ��̰��b�����̾S�o��ϵ�y(t��ng)���펧���Ԅӝ��У�ʹ��ܣ�����Ҫ�~��Ķ���У�ʡ�
�������c
����׃����������ģ�M���ɼ���������l(f��)���c�⏊�O(ji��n)�y��Ԫ��������Ն�Ԫ����̖̎���Ԫ�ȽM�ɣ��_�����r�O(ji��n)�y�^(q��)��՚���SF6���w��ȵ�Ŀ�ġ�����SF6����׃���������f��:
1.���^(q��)��՚���SF6���w�Ķ����z�y�������ܣ��\���_��ʽ��·���`���мt�⼤�����չ��V���g(sh��)�������˼������폊�Ȳ��Ӻ����h(hu��n)����Ӱ푣���
2.���r�@ʾ�^(q��)��՚��е�SF6���w���ֵ�������O(sh��)�È󾯝�ȣ����h(hu��n)����SF6���w��ȳ��^�O(sh��)���Ĉ�ֵ�r�l(f��)�����ˈ󾯹��ܡ�
3.ÿһ��SF6���w����̽�y���ɱO(ji��n)�y0.1~200m������(n��i)��SF6���׃��������Ҫ�κβɘ��b�ã�ֻ��Ҫһ�������������⽛(j��ng)�^Ҫ�O(ji��n)�y�ą^(q��)��󱻷���������؁����_̽�y�����͌��F(xi��n)�ˌ�������·�е�SF6��ȵĜy����
4.���ü�����V���ռ��g(sh��)�z�y����SF6���wй¶�z�y���y�����ȿɸ��ڰ��f��֮һ���z�y�ֱ����_��1ppm�����������؏��Ժã���(w��n)���ɿ���ʹ�É����L�����������������_��ʽ��·���g(sh��)�������˲ɘӶ��Ҍ��F(xi��n)�˴󷶇����B�m(x��)���g�ıO(ji��n)�y���������Σ��������١� 
���g(sh��)����(sh��)