Ԕ��(x��)��B

�a(ch��n)Ʒ�e��

�߾���SF6���w�z©�x��SF6���w�z©�x�����w�z©�x

�a(ch��n)Ʒ����

1���w�eС�������p����yʽ�ֳ�����̽�^���B�������׏��ԡ�
2���`���ȸߣ�����(j��)�Б�(y��ng)����(du��)��(x��)΢���u�ؚ��w��푑�(y��ng)���əzÿ��3g���Ϛ��wй©����
3���y(c��)�����������x������SF6�_(k��i)�P(gu��n)�b�õ�й©�ʷ�����(n��i)�z�y(c��)SF6��©������ 
4����(zh��n)�_�ȸߣ��x������*��У�(y��n)����У�(y��n)���o���ߜ�(zh��n)�_�ȵ�У��(zh��n)���������SF6�z©�Y(ji��)
���Ŀ��ŶȺͶ����z©�ľ��ȡ�
5���@ʾֱ�^��•���(b��o)�������Ô�(sh��)��Һ�����������@ʾ�����к�(ji��n)��ֱ�^��Ч������(d��ng)��SF6
���ڕr(sh��)���x���l(f��)��•���(b��o)����
6������(y��ng)�ٶȿ죬�֏�(f��)�r(sh��)�g�̣����������·�Y(ji��)��(g��u)��ʹ�x���ķ���(y��ng)�ٶȼӿ죬�֏�(f��)�r(sh��)�g�s�̣�
�@*�ط����ˬF(xi��n)��(ch��ng)�z�y(c��)��
7���ɳ��懚�늳أ�ʹ�Õr(sh��)�g�L(zh��ng)��һ�ο��B�m(x��)ʹ��5С�r(sh��)���ϣ�ʮ���m���ڬF(xi��n)��(ch��ng)��SF6��
���_(k��i)�P(gu��n)�S���о���ʹ�á�

�a(ch��n)Ʒ����(sh��)

1��zuiС�z�y(c��)ֵ��1ppm��×10-6�w�e�ȣ�
2���z�y(c��)������1��1000ppm��×10-6�w�e�ȣ�
3��푑�(y��ng)�r(sh��)�g��<1��
4���֏�(f��)�r(sh��)�g��<10��
5��ʾֵ�`�≤±3��
6���؏�(f��)�ԣ�≤1��
7���������oֹ�r(sh��)zui���`���ȣ�3g����
8��ָʾ��ʽ��Һ���@ʾ�Ͷ��l��•���(b��o)��
9��̽���z�y(c��)�L(zh��ng)�ȣ��ֳ�ʽ  ����̽�^�����L(zh��ng)��1��
10���B�m(x��)�����r(sh��)�g��5�r(sh��)
11���x���Դ���ɳ��懚�늳أ���ֱ������
12��ʹ�íh(hu��n)�����ضȣ�-5�桫50��   ����(du��)��ȣ�≤85%
13�����C(j��)������2����
14���w�e���L(zh��ng)×��×�ߣ�230mm×130mm×46mm